對(duì)工業(yè)領(lǐng)域，尤其是半導(dǎo)體制造而言，在單一工藝中降低能耗是綠色轉(zhuǎn)型的一個(gè)重要起點(diǎn)。對(duì)于高耗能行業(yè)的企業(yè)來(lái)說(shuō)，這與排放密切相關(guān)，并影響著運(yùn)營(yíng)方式的方方面面，從采購(gòu)到生產(chǎn)設(shè)計(jì)以及投資決策。隨著期望不斷提高、法規(guī)日益嚴(yán)格，這也會(huì)影響企業(yè)的長(zhǎng)期信譽(yù)。作為工業(yè)加熱技術(shù)和電阻材料領(lǐng)域的全球先進(jìn)品牌，Kanthal康泰爾長(zhǎng)期與客戶合作，致力于在保持穩(wěn)定工藝條件的同時(shí)考慮功耗問(wèn)題。并在自身運(yùn)營(yíng)中使用同樣的方法。截至2025年，Kanthal康泰爾相較2019年基準(zhǔn)已將二氧化碳排放量減少57%，提前五年超過(guò)其經(jīng)驗(yàn)證的2030年減排54%的目標(biāo)。這一進(jìn)展得益于工藝電氣化以及向經(jīng)認(rèn)證的無(wú)化石燃料電力的轉(zhuǎn)型發(fā)展。 Kanthal康泰爾新型加熱元件，有效提高半導(dǎo)體制造效率

中歐一家半導(dǎo)體器件制造商亟需降低其臥式晶圓加工過(guò)程中的能耗，且工藝仍須維持在 1,245°C的穩(wěn)定溫度下運(yùn)行，并要求系統(tǒng)穩(wěn)定性不受影響。

制造商的具體目標(biāo)是將能耗從 5.3 kWh 降低到 4.0 kWh。Kanthal康泰爾與客戶合作，開發(fā)了一種采用節(jié)能元件的解決方案。模擬結(jié)果顯示，新設(shè)計(jì)可將能耗減少約 1.6 kWh，降幅約為 30%。在客戶現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行的測(cè)試驗(yàn)證了這一結(jié)果，評(píng)估用加熱元件將能耗降低至約 3.7 kWh。

在許多情況下，使用新加熱元件節(jié)省下來(lái)的電力成本有助于抵消其投入成本。由于維持溫度所需電力更少，加熱元件的預(yù)期使用壽命也將更長(zhǎng)。

“Kanthal康泰爾節(jié)能加熱元件具有提升工藝性能的潛力。一種設(shè)計(jì)變型已在高溫臥式爐應(yīng)用中被證明有效，它能在減少關(guān)鍵區(qū)域熱損的同時(shí)，保持傳統(tǒng)加熱元件的冷卻速率。實(shí)現(xiàn)節(jié)能與保障生產(chǎn)效率的最佳冷卻速率之間的平衡至關(guān)重要。”Kanthal康泰爾全球產(chǎn)品經(jīng)理Tyke Johnson表示。
 
Kanthal康泰爾與廣大客戶合作共贏

Kanthal康泰爾在半導(dǎo)體制造加熱領(lǐng)域擁有40多年的經(jīng)驗(yàn)，多樣化技術(shù)涵蓋不同爐型、工藝條件，能滿足眾多客戶的多樣化需求。針對(duì)每一項(xiàng)挑戰(zhàn)，Kanthal康泰爾都會(huì)根據(jù)具體爐體配置和工藝要求提供定制化解決方案。

正如Johnson所說(shuō)：“秉持以客戶為中心的方法，意味著理解半導(dǎo)體制造中的每一個(gè)挑戰(zhàn)都是獨(dú)特的。這一切都關(guān)乎協(xié)作——客戶的挑戰(zhàn)就是我們的挑戰(zhàn)，我們共同打造超越預(yù)期的解決方案。”

品牌傳承與創(chuàng)新并行

Kanthal康泰爾的半導(dǎo)體加熱產(chǎn)品組合包括重型和輕型Fibrothal® 加熱元件，適用于300°C至1,350°C的工藝溫度范圍。

這些加熱元件兼容不同品牌和配置的臥式與立式爐設(shè)計(jì)，適用于最大300毫米的晶圓基板，并可根據(jù)各種生產(chǎn)需求進(jìn)行定制，包括多區(qū)配置。

該產(chǎn)品組合建立在早期技術(shù)基礎(chǔ)之上。Fibrothal® 加熱元件此前由MRL和Sandvik Materials Technology供應(yīng)，在北美也被稱為Aztec、Helix II、Helix、Black Max或Magna SW，在歐洲則稱為White John。

起源于MRL的技術(shù)，如今已延續(xù)至Kanthal康泰爾的半導(dǎo)體加熱解決方案之中。

如需了解更多信息，歡迎訪問(wèn)Kanthal康泰爾官網(wǎng)，或關(guān)注“Kanthal康泰爾”微信公眾號(hào)。